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行業(yè)應用
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晶圓表面缺陷超聲檢測
【概要描述】
詳情
通過采用專用的運動控制器DMC-4040-P,運用專用的軌跡掃描和數(shù)據(jù)處理模式,對涂覆后的晶圓做分層掃描,通過不同的起始深度可以發(fā)現(xiàn)產品內部不同的分層缺陷,從而實現(xiàn)整體的缺陷識別。
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區(qū)熔爐拉晶控制系統(tǒng)
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